實際上，因為結構簡單等因素，所以每一代新制程中的研發人員一般都會使用 SRAM 芯片進行測試。結果就是誰造出的 SRAM 芯片核心面積更小，制程技術越先進。此前的紀錄，是三星在 2018 年 2 月份的國際會議上宣布，期刊發出的 6T 256Mb SRAM 芯片，面積只有 0.026mm2。不過，愛美科上周聯合 Unisantis 公司開發的新一代 6T 256Mb SRAM 芯片打破了這個紀錄，核心面積只有 0.0184 mm2 到 0.0205mm2 ，相比三星的 SRAM 微縮了 24%。 

 

愛美科表示，面積能大幅縮小的原因，就在于使用了新的晶體管結構。Unisantis 與愛美科使用的是 Unisantis 所開發的垂直型環繞柵極（Surrounding Gate Transistor，SGT）結構，最小柵極距只有 50nm。這樣的水平，與標準型 GAA 晶體管相比，垂直型 SGT 單元 GAA 晶體管面積能夠縮小 20% 到 30%，同時在工作電壓、漏電流及穩定性上表現更佳。

 

目前愛美科正與 Unisantis 公司一起定制新制程的關鍵制程流程及步驟，預計透過一種新的制程協同優化 DTCO 技術，研發人員就能使用 50nm 間距制造出 0.0205 mm2 的 SRAM 單元，而未來該制程也能夠適用 5 納米制程的節點。此外，該制程技術還能使用 EUV 極紫外光刻技術，減少制程步驟，這使得設計成本與傳統 FinFET 制程相當。


關鍵詞：SRAM

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